【工信局】聚力“首台（套）”推动工业发展高端化

沧浪

       近日，江苏省工业和信息化厅公示2023年江苏省首台（套）重大装备拟认定企业，泰州市姜堰区江苏亚电科技有限公司半导体湿法刻蚀清洗设备成功入选。该设备攻克了晶圆刻蚀清洗自适应供补液等核心技术，实现了我国高端半导体设备核心技术的完全国产化，有效破解了半导体制备技术“卡脖子”关键技术难题。

       “首台（套）”为“首台（套）重大技术装备”，指经过创新，其品种、规格或技术参数等有重大突破，具有知识产权但尚未取得市场业绩的首台套或首批次的装备、系统和核心部件，是代表行业和企业发展水平的重要标准之一。江苏亚电科技有限公司自主研发的DF-3000B 12英寸槽式半导体湿法刻蚀清洗设备，采用自适应供补液、加热、浓度、流量、压力自动控制、均匀化兆声波清洗、先进的干燥技术，拥有完全自主知识产权。

       姜堰区工信局局长何剑表示，研发、应用“首台套”既是实现装备高端化、智能化的有力手段，也是解决关键技术“卡脖子”问题、关键领域实现自主可控的重要途径。近年来，姜堰区工信局持续聚焦重点、优化服务，不断推动自主创新重大装备快速发展，促进企业制造装备升级和互联网化提升。目前，全区已认定省首台（套）重大装备11个，充分展示了姜堰在高端装备制造领域的创新能力和研制水平，为工业经济高质量发展源源不断注入了新动能。姜堰区将出台更多激励措施，鼓励企业自主创新，积极引导企业开展重大技术装备首台（套）研制，加快首台（套）重大技术装备推广应用，推动装备制造业高质量发展。

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